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Deutsch
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Projektbereich
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Hauptergebnisse
der ersten Förderperiode
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Prof. Dr.-Ing. René Theska
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Im Projektbereich B wurden im Teilprojekt B2
umfangreiche Grundlagenuntersuchungen zu einem systematischen
konstruktiven Entwurf von 3D-Nanopositionier- und Nanomesssystemen
mit Arbeitsbereichen von 200 x 200 x 5 mm3, Messauflösungen
von 0,1 nm und Reproduzierbarkeiten von 1 nm vorgenommen. Dazu war
eine enge Kooperation mit den Teilprojekten B3, B4 und B5 notwendig,
um geeignete Werkstoffkonzepte einschließlich der Erforschung neuer
tribologisch günstiger Oberflächenschichten sowie die Analyse des
tribologischen Verhaltens von Werkstoffpaarungen in optimierte
konstruktive Entwürfe einzubeziehen. Im Ergebnis dessen entstand
ein systematisierter Konstruktionskatalog, der Varianten des
metrologischen Rahmens, verschiedene Führungs- und Antriebssysteme
bis hin zu statisch optimierten Raumspiegelecken beinhaltet und
einer metrologischen Bewertung durch das Teilprojekt A1 unterzogen
wurde. In diese Untersuchungen flossen auch die Arbeiten des
Teilprojektes B1 zur Bewertung des dynamischen Verhaltens von
Teilsystemen
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Teilprojekte in B |
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