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Diese Herangehensweise war eine Voraussetzung dafür,
die hohen Zielstellungen des Sonderforschungsbereiches zu
verwirklichen. Begleitet wurde dieser Lösungsweg durch die
Erforschung und die Weiterentwicklung von laseroptischen Weg-
und Miniaturwinkelsensoren (Teilprojekt A2), von
metrologischen Rasterkraft- und Autofokussensoren (Teilprojekt
A2), von optischen Nahfeldtools für die Beobachtung und
Bearbeitung von Nanoobjekten (Teilprojekte A3 und B4) bis hin
zur Erforschung der Grundlagen für ein
Mikroelektronenstrahlbearbeitungstool (Teilprojekt A3). Darüber
hinaus erfolgten im Teilprojekt A1 umfangreiche Untersuchungen
zu geeigneten metrologischen Modellen für die Analyse der
Mess- und Positionierunsicherheit von NPM-Maschinen. Weitere Forschungschwerpunkte bildeten die Konzeption
und die metrologische Bewertung von 3D-Raumspiegelecken,
gemeinsam von den Teilprojekten A1 und B2 bearbeitet, sowie
Arbeiten zur Analyse von Mehrkoordinatenführungs- und Antriebssystemen
(Teilprojekte A5 und B2), die sich für die erweiterten
Arbeitsbereiche, die geforderte Positionierauflösung und das
Regelungskonzept der Führungsfehlerkompensation eignen.
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