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Projektbereich B
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Deutsch
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B C]
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Hauptergebnisse I Forschungsziele
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>> [ B1,
B2, B3,
B5 ]
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Teilprojekt B1 |
Modellgestützte
Analyse und Optimierung des dynamischen Verhaltens von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
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Fachgebiet |
Technische
Mechanik
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Das Teilprojekt B1 wird auf Grundlage der erarbeiteten mechatronischen Modelle
der NPM-Maschine die Untersuchungen auf die dynamische
Wechselwirkung zwischen den Nanotools und der Positioniersysteme bei
unterschiedlichen Antastverfahren (Contact Mode, Friction Force
Mode) konzentrieren. Dazu sollen hybride Mehrkörpersysteme
Langzeiteffekte bei Reibung und thermische Einflüsse erfassen.
Diese Arbeiten zur Simulation werden durch theoretische Untersuchungen zu analytischen
Verfahren ergänzt, die verstärkt adaptive Regelung von hochpräzisen
Bewegungsvorgängen und deren Stabilität einbeziehen.
Die für die Simulation benötigten Modellparameter für Koppelstellen, Bauteile
und Werkstoffe mit nichtlinearen Verhalten werden mit Hilfe des in
der ersten Projektphase aufgebauten Messstandes unter Nutzung
dynamischer Methoden bei höheren Messfrequenzen, Anregungen als
Kontinuumsschwinger und erweiterten Verfahren für Biege- und
Torsionsschwinger experimentell ermittelt. Dazu sind insbesondere
die Teilprojekte A5, A7, B2, B3 und B5 einbezogen.
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Projektleiter: |
Prof. Dr.-Ing. habil. Klaus Zimmermann
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Mitarbeiter: |
Dipl.-Ing. Anita Tröbs, Dr.-Ing. Erik Gerlach
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