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Projektbereich B
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Deutsch
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Hauptergebnisse I Forschungsziele
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B2, B3,
B5 ]
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Teilprojekt B2 |
Nanokonstruktion
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Fachgebiet |
Konstruktion, Feinwerktechnik
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Das Teilprojekt B2 hat die vorliegenden Lösungsansätze zum Gesamtaufbau des
Systems, zu den Hauptfunktionsgruppen und Koppelstellen für den
erweiterten Bewegungsbereich von 350 x 350 x 50 mm³, Auflösungen
von 0,05 nm und Reproduzierbarkeiten < 1 nm
auszulegen, zu optimieren und an Demonstratoren zu verifizieren.
Das vorliegende Modulkonzept ist zu vervollständigen und die
Module mit den relevanten Leistungs- und Strukturparametern als
virtuelle Prototypen bereitzustellen. Auf dieser Grundlage sind
Strukturen für die bevorzugten Einsatzfelder in der
Mikroelektronik, der Hochleistungs- und Mikrooptik, der
Biotechnologie und MEMS exemplarisch zu konfigurieren. Dabei sind
Anforderungen des Vakuumeinsatzes, der Dynamik und des thermischen
Verhaltens zu berücksichtigen.
Aus der hierzu erforderlichen Kooperation mit den Teilprojekten A1, A2, A5, A7,
des Bereiches B sind Konstruktionsprinzipien für
das Zusammenwirken von mechanischen, optischen und
elektromechanischen Komponenten unter Berücksichtigung von
Regelstrategien zu erarbeiten und in das im Aufbau befindliche
Entwurfssystem aufzunehmen. Es soll die CAD-Tools phasenübergreifend
vernetzen und in seinem Kern einen Konfigurator mit zugehöriger
erweiterter Konstruktionsdatenbank umfassen.
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Projektleiter: |
Prof.
Dr.-Ing. habil. Günter Höhne, Prof. Dr.-Ing. René Theska
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Mitarbeiter: |
Dipl.-Ing. Thomas
Frank, Dipl.-Ing. Markus Lotz
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