Projektbereich B

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Hauptergebnisse I Forschungsziele

 

 

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Teilprojekt B2 Nanokonstruktion
Fachgebiet Konstruktion, Feinwerktechnik
Das Teilprojekt B2 hat die vorliegenden Lösungsansätze zum Gesamtaufbau des Systems, zu den Hauptfunktionsgruppen und Koppelstellen für den erweiterten Bewegungsbereich von 350 x 350 x 50 mm³, Auflösungen von 0,05 nm und Reproduzierbarkeiten < 1 nm auszulegen, zu optimieren und an Demonstratoren zu verifizieren. Das vorliegende Modulkonzept ist zu vervollständigen und die Module mit den relevanten Leistungs- und Strukturparametern als virtuelle Prototypen bereitzustellen. Auf dieser Grundlage sind Strukturen für die bevorzugten Einsatzfelder in der Mikroelektronik, der Hochleistungs- und Mikrooptik, der Biotechnologie und MEMS exemplarisch zu konfigurieren. Dabei sind Anforderungen des Vakuumeinsatzes, der Dynamik und des thermischen Verhaltens zu berücksichtigen. Aus der hierzu erforderlichen Kooperation mit den Teilprojekten A1, A2, A5, A7, des Bereiches B sind Konstruktionsprinzipien für das Zusammenwirken von mechanischen, optischen und elektromechanischen Komponenten unter Berücksichtigung von Regelstrategien zu erarbeiten und in das im Aufbau befindliche Entwurfssystem aufzunehmen. Es soll die CAD-Tools phasenübergreifend vernetzen und in seinem Kern einen Konfigurator mit zugehöriger erweiterter Konstruktionsdatenbank umfassen.



Projektleiter:  Prof. Dr.-Ing. habil. Günter Höhne, Prof. Dr.-Ing. René Theska
Mitarbeiter: Dipl.-Ing. Thomas Frank, Dipl.-Ing. Markus Lotz

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