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Projektbereich A
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Deutsch
/ Englisch
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[ A
B C]
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Hauptergebnisse
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>> [ A1,
A2, A3,
A5 ]
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Teilprojekt A3 |
Lithografie-Nanotools
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Fachgebiet |
Festkörperelektronik
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Für eine Oberflächenmodifikation
werden omnidirektionale photonische Kristalle favorisiert. Die
Umsetzung könnte mit höherbrechenden Materialen wie z.B.
Telluritgläser oder einer Beschichtung der Preformen mit optisch dünnen
Metallschichten realisiert werden. Für eine miniaturisierte Elektronenquelle
wurde ein erstes Design auf der Basis von planaren Silizium- und
Glaskomponenten entwickelt, bestehend aus einem Feldemitterarray,
Isolationskomponenten, Beschleunigungsgittern und einem
elektronentransmissiven MEMS-Fenster. Das entworfene
Feldemitter-Design wurde planungsgemäß in Si-MBE Technologie
umgesetzt. Unterstützung bei der technologischen Fertigung leistete
die Universität der Bundeswehr in München (Prof. I. Eisele).
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Pojektleiter: |
Prof.
Dr.-Ing. habil. Theodor Doll
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Mitarbeiter: |
Dipl.-Ing. Thomas
Haas
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