|
|
|
|
Projektbereich C
|
Deutsch
/ Englisch
|
|
|
[ A
B C]
|
|
Hauptergebnisse I Forschungsziele
|
|
|
|
|
<< >>
[ C1,
C2, C5
]
|
| Teilprojekt C2 |
Sensornahe Messdatenerfassung und -verarbeitung
|
|
| Fachgebiet |
Graphische Datenverarbeitung
|
|
|
Die wesentlichen Schwerpunkte der Grundlagenforschung des Teilprojektes C2 in der
zweiten Antragsperiode sind:
Untersuchung aller Einflüsse des Detektionssystems auf das Messergebniss
-
Erweiterung der Untersuchung auf alternative Sensoren
(Fokussensor, SNOM, …)
- Forschung zur Entfaltung von AFM-Messungen in Sondermodi (EFM,
SPM, MFM)
- Konstruktion von Prüfstrukturen zur Analyse der
Wechselwirkungen Sensor/Probe
- Vorschläge und Vorgaben zur Konstruktion spezieller
AFM-Spitzen
- Untersuchung von CD-AFM-Tips und ihrer Wechselwirkungen bei
der Vermessung von „Side Walls“
- Grundlagenforschung zum Einsatz eines 3D-Messkopfes
(Wechselwirkung, Rekonstruktion,
Nanometerreproduzierbarkeit)
Erarbeitung von Mess- und Positionierstrategien
- Erforschung neuer Orientierungsstrategien (Nutzung von
Punkt- und
Regionenmerkmalen unterschiedlichen physikalischen
Ursprungs)
- Ableiten und Erforschen von Strategien zur Orientierung im
Nahbereich an Messmarken
- Entwicklung von Mess- und Kalibrierstrategien für das
geplante Tip-Wechselsystem
|
|
|
| Projektleiter: |
PD Dr.-Ing.habil. Karl-Heinz Franke
|
| Mitarbeiter: |
Dipl.-Ing.Torsten Machleidt
|
|
|
|
|
|
|
