Die Untersuchung aller Einflüsse des Detektionssystems auf das Messergebnis bezogen sich in erster Linie auf die Kombination Atomkraftmikroskopie/NPM-Maschine. Eine Analyse und Bewertung von Verfahren zur Rekonstruktion der AFM-Messspitze und der Oberfläche selbst zeigten die Schwachpunkte bekannter Verfahren. Mit der Entwicklung von Methoden zur Vorverarbeitung der Messdaten und der Erweiterung der Methodik zur Rekonstruktion der Messspitze, konnten sinnvolle Tasterschätzungen berechnet werden. Wegen der hohen Stabilität der Methodik sind erstmals Untersuchungen physikalischer Wechselwirkungen und ihr Einfluss auf die Rekonstruktion der Probenoberfläche möglich. Unterstützt werden diese Forschungsarbeiten durch die Entwicklung von Verfahren zur 3D-Charakterisierung der AFM-Spitzenform. Anwendung fanden die Verfahren im Teilprojekt C2 bei der Grundlagen­untersuchung des AFM-Spitzenverschleißes. Die Erarbeitung von Mess- und Positionierstrategien bildet den zweiten Schwerpunkt der Arbeiten des Teilprojektes C2. Die erwähnten Verschleißuntersuchungen zeigten, dass bei längeren Messungen ein Tipwechsel erforderlich ist. Da ein solcher Wechsel zu einem Versatz von mehreren 100 mm führt, ist ein Fortführen der Messung am gleichen Probenort nicht möglich. Das Teilprojekt C2 hat für diesen Fall eine Einmessstrategie für die Messspitze entwickelt und erprobt, welche es erlaubt, nach einem Tipwechsel, die Messung exakt an der gleichen Probenposition fortzusetzen.