Typische Messobjekte für Nanomessmaschinen besitzen sowohl Merkmale im µm-Bereich als auch im nm-Bereich. Daraus ergibt sich die Notwendigkeit, Sensoren mit nm-Auflösung und mit µm-Auflösung für unterschiedliche Messbereiche in Form eines kaskadierten Multisensorsystems zu kombinieren. Ein derartiges, intelligentes und adaptives Multisensorsystem muss so integriert sein, dass es von außen wie ein Sensor angesteuert und behandelt werden kann. Die Beherrschung der geschlossenen Prozesskette beinhaltet auch die automatisierte Prüfplanabarbeitung. Die hohe Anzahl der Prüfmerkmale (bis zu 300.000 pro Arbeitsgang) einerseits und die hohe Parameteranzahl der einzusetzenden Antastsensoren (AFM-Sensor, Navigationssensor, Laserfokussensor) andererseits erfordern zwingend adaptive, intelligente Sensoren. Diese Eigenschaft ist eine entscheidende Voraussetzung für die automatisierte Prüfplanabarbeitung. Abweichungen zwischen Sollkontur (CAD-Daten) und Istkontur (Artefakte, technologiebedingte Abweichungen oder Strukturfehler) dürfen nicht in fehlerhaften Messergebnissen oder sogar im Abbruch der Prüfplanabarbeitung resultieren. 

Wesentliche, wissenschaftliche Ziele der neuen Förderperiode sind: 
      (1) Neuartige Prüfstrategien für die kaskadierte Merkmalsprüfung von mikro- und nanoskaligen
           Qualitätsmerkmalen mit einem kaskadierten Multisensorsystem 
      (2) Realisierung adaptiver, intelligenter Sensorkombinationen mit kaskadierten Messbereichen durch
           Anwendung wissensbasierter Methoden und Verfahren
      (3)  Erweiterung und informationstechnische Einbindung des kaskadierten Multisensorsystems in die
           geschlossene Prozesskette