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Nanopositionier-
und Nanomessmaschinen sind technologische Ausrüstungen, welche die
Positionierung, Messung, Antastung, Manipulation und Bearbeitung von
Objekten durch das
abgestimmte Zusammenwirken von Positionier-, Mess- sowie
Bearbeitungssystemen mit
Nanometerpräzision ermöglichen.
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entwickelnde neuartige Antastsysteme und Nanotools (Bearbeitungstools) sind
in die
NPM-Maschinen einzubinden.
- durch
Kombination von Positioniersystemen mit großen und kleinen
Bewegungsbereichen sollen
hochdynamische Präzisionspositionierungen
erreicht werden
- zur
nanometergenauen Vermessung und Bearbeitung von Objekten müssen
entsprechende
Tastsysteme (mechanisch-taktile und optische) sowie Nanotools
(IR-, UV-Tools,
Mikroelektronenquellen) verfügbar gemacht werden
- langfristige
Zusammenarbeit verschiedener Wissenschaftsdisziplinen auf höchstem
Niveau
- synergetische
Zusammenführung von Konstruktion, Werkstofftechnik, Präzisionsmess- und
Positioniertechnik, Sensortechnik, Mechanismentechnik,
Tribologie,
Mikrotechnik,
Halbleiterelektronik, Informatik und Signalverarbeitung im
Rahmen des SFB auf der Grundlage neuer
Konzepte
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