"Der Weltstand auf dem Gebiet der Nanopositionier- und Nanomesstechnik wird von Ilmenau bestimmt."

Mit diesen Worten schätzte der Berichterstatter Prof. Klaus Weinert die erreichten wissenschaftlichen Ergebnisse des SFB 622 in den vergangenen 3 Jahren vor dem Senat der DFG ein. Diesem Votum schloss sich ein Großteil der Senatoren an und stimmte für eine Verlängerung der Förderperiode bis 2009 zu.

Prof. Gerd Jäger mit dem Nachwuchswissenschaftler Norbert Hofmann, an der genausten Nanopositionier- und Nanomaschine der Welt

Mit seiner Entscheidung folgte der Senat der DFG den sehr positiven Empfehlungen des 13-köpfigen Gutachtergremiums, das sich zur Evaluation des Antrags auf eine 2. Förderphase im März 2005 in Ilmenau getroffen hatte. Die Experten bescheinigten dem Forscherteam unter Leitung von Professor Gerd Jäger eine überaus erfolgreiche Entwicklung des SFB und dessen unangefochtene internationale Spitzenposition. Mit einem Messvolumen von 25 x 25 x 5 Kubikmillimetern und einer Positionierunsicherheit von unter 10 Nanometern ist das Präzisionsgerät das derzeit genaueste seiner Art weltweit. Die Messauflösung der in Ilmenau entwickelten Nanopositionier- und Nanomessmaschine konnte von 1,24 auf 0,1 Nanometer verringert werden.

Immer kleinere Objekte und Strukturen in immer größeren Raumbereichen zu beherrschen, stellt eine enorme technologische Zielstellung dar, aus der sich hohe Anforderungen an die Nanomess- und
Nanopositioniertechnik ergeben. 

Nanomess- und Nanopositioniergeräte sind für die nanometergenaue Positionierung und Messung von Nanooberflächen- und Nanostrukturnormalen, von mechanischen und optischen Präzisionsteilen sowie für die Materialanalyse erforderlich.