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Projektbereich A
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Deutsch
/ Englisch
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[ A
B C]
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Hauptergebnisse I Forschungsziele
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[ A1,
A2, A3,
A5 ]
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| Teilprojekt A5 |
Nanopositioniersysteme großer
Bewegungsbereiche
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| Fachgebiet |
Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme (IMMS)
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An dieser
Stelle flossen die Erkenntnisse und Ergebnisse der bisherigen
Arbeiten im Teilprojekt genauso wie Lösungen der Teilprojekte A1,
A2, B1, B2 in die Konzeption ein, um anhand des Demonstrators deren
funktionelle Eignung nachzuweisen. Im Ergebnis steht ein
Linearantrieb, der Teillösungen verschiedener Teilprojekte zu einem
Gesamtsystem vereint und die Plattform für eingehende
Untersuchungen zur praktischen Erprobung und Evaluierung
theoretischer Erkenntnisse der verschiedenen Teilprojekte darstellt.
Im Rahmen der Arbeiten
des Teilprojektes A5 wurde auch die Eignung von magnetischen Führungen
und Antrieben für NPM-Maschinen untersucht. Während der Antrieb
des Läufers in der xy-Ebene meist nach dem elektrodynamischen
Prinzip (Lorentzkraft) erfolgt, kommen zur Abstützung in vertikaler
Richtung (z-Richtung) Luftlager oder Magnetaktoren zum Einsatz.
Magnetische Führungen bieten als luftfreie Lösung den wesentlichen
Vorteil, dass sich mit ihnen auch vakuumtaugliche integrierte
Mehrkoordinatenantriebe zuverlässig realisieren lassen. Zudem
treten keine störenden Schleppkräfte aufgrund von Luftzuleitungen
zum Läufer, kein Verschleiß der Zuleitungen und keine Führungsschwingungen
infolge von Schwankungen in der Druckluftversorgung auf.
Darüber hinaus ermöglichen magnetische Führungen eine erweiterte
Funktionalität: Durch eine passende Regelungseinrichtung sowie
durch eine geeignete Anordnung der Führungsaktoren kann eine Läuferpositionierung
in allen sechs Freiheiten erzielt werden, Nick-, Roll- und
Gierfehler lassen sich kompensieren und Vibrationen aktiv dämpfen.
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| Pojektleiter: |
Dr.-Ing.
Christoph Schäffel, Prof.
Dr.-Ing. Torsten Bertram
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| Mitarbeiter: |
Dipl.-Ing. Hans-Ulrich
Mohr, Dipl.-Ing. Ralf Volkert, Dipl.-Ing. Steffen Hesse
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