Im Teilprojekt A5 ist für den neuen Antragszeitraum geplant, die wissenschaftlichen Arbeiten auf eine weitere Vergrößerung des Verfahrbereiches bei gleichzeitiger Verringerung der Positionierunsicherheit auszurichten. Hierbei gilt es zunächst, anhand von Versuchsanordnungen, insbesondere thermische Zusammenhänge intensiv zu erforschen und grundlegende Erkenntnisse für die Verringerung der Positionierunsicherheit auf wenige Nanometer zu gewinnen. Daneben wird besonderes Augenmerk auf den Einsatz von Nanopositioniersystemen im Vakuum gerichtet, da so Umwelteinflüsse minimiert und die Messunsicherheit weiter reduziert werden können. Hinsichtlich vakuumtauglicher Präzisionsantriebseinheiten, besonders bzgl. der Wärmeabfuhr bzw. Temperierung besteht ein Forschungsdefizit, dem hier Rechnung getragen werden soll. Mit Blick auf die technischen Zielstellungen ist es ferner notwendig, neuartige Antriebsgrundstrukturen zu erforschen und insbesondere mit dem Teilprojekt B2 nach innovativen Antriebskonzepten als wesentlicher Bestandteil des Gesamtkonzeptes von Nanopositionier- und -messmaschinen zu suchen. Insbesondere sollen im Rahmen des Teilprojektes A5 magnetische Führungen und Antriebe einschließlich deren Regelung und Leistungsansteuerung auf der Basis eines mechatronischen Entwurfes für Arbeitsbereiche von 350 mm x 350 mm x 5-50 mm untersucht werden.