Im Teilprojekt A8 soll durch die Integration unterschiedlichster Messprinzipien auf AFM-Basis in die Systemplattform von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen eine neue Qualität der Nanoanalytik erschlossen werden. Das metrologische Konzept des SFB erlaubt erstmalig eine positionsgenaue serielle Kombination mehrerer Messprinzipien mit Nanometerauflösung in einem extrem großen Messvolumen. Unterschiedliche Messspitzen sollen reproduzierbar positioniert werden, so dass durch einen Wechsel der Messelemente an der selben Position variable nanoanalytische Messungen durchgeführt werden können, die durch den Einsatz geeigneter Strukturierungsverfahren auch mit einer kontrollierten, positionsgenauen Modifizierung von Nanostrukturen kombiniert werden können. In die Systemplattform von NPM-Maschinen sollen nanostrukturierte Referenzen integriert werden, die eine Vorcharakterisierung der relevanten physikalischen Eigenschaften der Messspitzen ermöglichen. Dieses Konzept erschließt innovative Anwendungsfelder in Forschung und industrieller Fertigung z.B. bei der Fehlersuche und Modifizierung von mikro- und nanoelektronischen Schaltungen auf Substraten mit Durchmessern von bis zu 12“.