Im Teilprojekt A1 sollen im kommenden Antragszeitraum, Juli 2005 bis Juni 2009, die metrologischen Grundlagen für NPM-Maschinen mit Arbeitsbereichen von 350 x 350 x 5-50 mm³ bei Messauflösungen < 0,05 nm und einer Reproduzierbarkeit von 1 nm gelegt werden. Dazu müssen Teilmodelle des vektoriellen metrologischen Modells erweitert und verfeinert, aber auch neue Gesichtspunkte, wie zum Beispiel der Vakuumeinsatz oder der veränderliche Einfluss zeitvarianter Störgrößen, im Modell berücksichtigt werden. Die größeren Arbeitsbereiche und die steigenden Genauigkeitsanforderungen stellen auch höhere Ansprüche an die Raumspiegelkonzepte von NPM-Maschinen. Untersuchungen zur topologischen Parameterstabilität, zur Verringerung des Eigengewichts der Spiegel, zu effektiven Kalibrier- und Rückführkonzepten und zu technologisch- ökonomischen Gesichtspunkten beim Entwurf von Raumreferenzen sind Arbeitsfelder, auf denen die genannten Zielstellungen bis zum Jahre 2009 erreicht werden sollen.