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Projektbereich A
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Deutsch
/ Englisch
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[ A
B C]
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Hauptergebnisse
I Forschungsziele
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>> [ A1,
A2, A5,
A7, A8
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| Teilprojekt A2 |
Nanomesstechnik
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| Fachgebiet |
Prozessmesstechnik
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Im Zeitraum 2005 bis 2009 sind im Teilprojekt A2
die wissenschaftlichen Grundlagen für die Nanomess- Winkelmess- und
Tastsysteme insbesondere unter dem Aspekt höherer
Genauigkeitsanforderungen (Messauflösung < 0,05 nm,
Reproduzierbarkeit < 1 nm) in erweiterten Messbereichen
(350 mm x 350 mm x 5-50 mm) weiterzuentwickeln. Das
entspricht einer relativen Messauflösung von ca. bzw. einer relativen
Reproduzierbarkeit von. Infolge der hohen Anforderungen sind Untersuchungen erforderlich,
inwieweit derartige Lösungen Vakuumbedingungen erfordern. Ein
weiterer wichtiger Gesichtspunkt der Forschung im Teilprojekt A2 ist
die Mehrachsfähigkeit der lichtwellenleitergekoppelten
Interferometer. Für die 3D-Positionierung werden in Zukunft bis zu
6 Interferometerachsen benötigt. Beim Einsatz interferometrischer
Antastsysteme und einer interferometrischen Umweltkorrektur können
das dann bis zu 12 Achsen werden. Insbesondere aus der Sicht der
Laserlichtquellen und der Lichtwellenleiterkopplung sowie der
Schaffung der Grundlagen von Mikrointerferometern für die Anwendung
in Tastsystemen ergeben sich hier große Herausforderungen.
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| Projektleiter: |
Prof. Dr.-Ing.
habil. Gerd Jäger, Dr.-Ing. Eberhard Manske
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| Mitarbeiter: |
Dr.-Ing. Tino
Hausotte, Dipl.-Ing. Ingomar Schmidt ,
Dipl.-Ing. Nobert Hofmann
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