Defizite zu Projektbeginn waren einerseits fehlende theoretische und experimentelle Erkenntnisse bezüglich der Realisierbarkeit und der Eigenschaften der durchgängigen Prozesskette für die Prüfung nanometrischer Merkmale und andererseits fehlende Grundlagenuntersuchungen zur Prüfplanung für die für Nanomessmaschinen typischen Sensoren. Ein weiteres Defizit sind unzureichende Kenntnisse über die Prüfung nanometrischer Merkmale mit Hinblick auf die funktionsbestimmende Verschmelzung von Geometrie- und Oberflächeneigenschaften.

 Wesentliche,wissenschaftliche Arbeitsergebnisse der ersten Antragsperiode sind:
 
      (1) Prototyp der geschlossenen Prozesskette für mikro- und nanoskalige Qualitätsmerkmale,
      (2) Systemtheoretisches Modell für die Messung mit adaptiven, intelligenten Sensoren, 
      (3) Modell für die laterale Auswertung des Signalverlaufs des Laserfokussensors für die Prüfung
           nanometrischer Qualitätsmerkmale (empirische Standardabweichung = 7,3 nm).